Nikon выпускает NSR

Поддерживает различные полупроводниковые устройства и может дополнять или заменять существующие шаговые двигатели.

31 августа 2023 г.

ТОКИО – Корпорация Nikon рада объявить о выпуске шагового двигателя i-line с 5-кратным уменьшением NSR-2205iL1, который будет использоваться для производства различных устройств, таких как силовые и коммуникационные полупроводники и МЭМС, и полностью совместим с существующими моделями Nikon i-line. системы линейного воздействия. Модель 2205iL1 обеспечивает отличную доступность и позволит оптимизировать производство различных полупроводниковых устройств независимо от материала пластины. NSR-2205iL1 представляет собой наиболее значительное обновление шаговой технологии Nikon 5x за последние двадцать пять лет, и разработка системы была прямым ответом на спрос клиентов на эти литографические системы, которые играют столь важную роль в производстве чипов.

Поскольку электромобили, высокоскоростные средства связи и различные ИТ-устройства становятся все более распространенными, спрос на полупроводники для их поддержки растет в геометрической прогрессии. Эти полупроводники должны выполнять множество сложных функций, и в результате производителям устройств требуются специализированные подложки и системы экспонирования для производства этих чипов. Компания Nikon часто удовлетворяет эти требования к системе литографии, например, восстанавливая ранее принадлежавшие шаговые двигатели. Однако поставки отремонтированных шаговых двигателей могут быть ограничены и недостаточны для удовлетворения потребностей клиентов. Поэтому, чтобы предоставить дополнительные гибкие решения для оборудования для экспонирования, компания Nikon запускает новый степпер 5x i-line, который использует знания, полученные в тесном сотрудничестве с клиентами, чтобы предоставить им специализированные решения для удовлетворения спроса рынка, а также для решения проблемы ограниченного и устаревшего шагового двигателя. поставка. Помимо расширения различных возможностей для удовлетворения разнообразных потребностей клиентов, этот недавно разработанный шаговый двигатель i-line также будет поддерживать долгосрочное производство устройств.

NSR-2205iL1 обеспечит высокую производительность при оптимизации уровня производительности для различных процессов производства полупроводников за счет высокоточного измерения пластин с использованием многоточечной автофокусировки (AF), усовершенствованного выравнивания пластины*1 и широкой глубины резкости (расширенный диапазон глубины фокусировки), среди других преимуществ. Кроме того, он хорошо подходит для различных применений благодаря совместимости по толщине и размеру пластин, высокой устойчивости к короблению пластин и гибким возможностям, включая, помимо прочего, поддержку обработки SiC (карбид кремния) и GaN (нитрид галлия). Шаговый двигатель NSR-2205iL1 i-line обеспечит отличную доступность и одновременно удовлетворит разнообразные требования производителей микросхем.

Клиенты, имеющие на своих предприятиях системы экспонирования Nikon i-line, могут продолжать использовать уже имеющиеся ресурсы и операции, такие как фотошаблоны и рецепты экспонирования пластин. Помимо совместимости с существующими производственными операциями, 2205iL1 может дополнять или заменять существующие шаговые двигатели, которые больше не соответствуют производственным требованиям.

NSR-2205iL1 можно с уверенностью использовать в течение длительного периода времени, поскольку в его конструкции используются коммерчески доступные компоненты общего назначения, что упрощает, как никогда, приобретение деталей и обеспечивает более устойчивое решение для литографии в будущем.

Проведите по горизонтали, чтобы просмотреть всю таблицу.

Информация актуальна на момент публикации. Оно может быть изменено без предварительного уведомления.